제1회 PLASMA 기술 강습회



안녕하십니까? 한국진공학회 플라즈마 & 디스플레이 분과 회장, 한국항공대학교 최희환 교수입니다.
산학 협력에 대한 오랜 전통을 가진 분과의 특성을 살려 2017. 7.6 ~ 7.7에 강원도 인제 스피디움 호텔에서 최근 이슈가 되고 있는 metal window ICP에 대한 워크샵이 성황리에 개최되었습니다. SAMSUNG display, LG display, Invenia, 원익IPS, PSK등 많은 기업의 연구원들이 참석해주셨고, 둘째날 이어진 심화 토론에서는 플라즈마의 기초를 강습회의 형태로 주선 해 주었으면 좋겠다는 의견이 있어서 이번 하계 한국진공학회 때 진공기술 강습회와 같이 구성을 하기로 하였습니다.
플라즈마 발생의 원리, RF 전력 전달, 진단 기술, 반응성 가스의 거동에서 ESC (electrostatic chuck)에 이르기 까지 필수적인 분야에 대해서 6분의 연사를 모시고 진행할 예정입니다.
학회는 회원 여러분들의 활발한 지적 교류의 장입니다. 부디 많은 분들이 열린 마음으로 편하게 참여하실 수 있는 장을 많이 만들 수 있도록 앞으로 힘쓰겠습니다.


주 최: 한국진공학회
주 관: NFRI 플라즈마 기술연구센터
일 시: 2017년 8월 16일 (수) 13:00-18:00
장 소: 강원도 홍천 대명 비발디파크 사파이어홀
주 제: 공정용 플라즈마의 원리 및 응용

주제 및 초청연사

발표순서 시간 주제 연사
　 12:50 ~ 13:00 등록, 인사말씀 최희환 교수
1 13:00 ~ 13:40 Introduction to RF technology (전)MKS 연구소장
이상원 박사
2 13:40 ~ 14:20 플라즈마 발생 원리 부산대학교
이호준 교수
3 14:20 ~ 15:00 플라즈마 진단 - 전기적 방법 표준과학연구원
이효창 박사
Coffee Break (20분)
4 15:20 ~ 16:00 플라즈마 진단 - 광학적 방법 전북대학교
문세연 교수
5 16:00 ~ 16:40 플라즈마 공정 시뮬레이션 국가핵융합연구소
권득철 박사
6 16:40 ~ 17:20 ESC (electrostatic chuck)의 원리 및 최신 기술 동향 보부하이텍
김봉수 연구소장
질의 & 응답

플라즈마 강습회 등록비

구분 온라인등록(~8/8) 현장등록
회원　 평회원/정회원 80,000 원 100,000 원
학생회원 40,000 원 50,000 원
비회원　 일반 140,000 원 150,000 원
대학원생/학부생 50,000 원 70,000 원


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