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±¹»ê RF Generator ¼Ò°³ÀÇ ±Û
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2009-08-27
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ÀúÈñ´Â 1989³âºÎÅÍ RF Generator ±¹»êÈ­ ¹× ½áºñ½º¾÷¹«¿¡ Á¾»çÇÏ¿© ¿Ô½À´Ï´Ù.
¼Ò°³µå¸®´Â RF Generator´Â ÃֽŠ¸ðµ¨ÀÇ ¼öÀÔÇ°°ú ºñ±³ÇÏ¿©µµ ¼Õ»ö¾ø´Â »ç¾çÀ¸·Î Á¦ÀÛÇÏ¿© ÃÖ°íÀÇ °æÁ¦¼ºÀ¸·Î ÃÖ°íÀÇ »ç¾çÀÓÀ» ÀÚºÎÇÕ´Ï´Ù.
Á¦ÀÛ »ç¾çÀº 300W-3KW±Þ 13.56MHz RF Plasma GeneratorÀ̸ç ÀϹÝÀûÀÎ Sputter,CVD,RIE,ICP,TCPµîÀÇ ´Ù¾çÇÑ ºÐ¾ß¿Í ·¹ÀÌÀú ´ë±â¾ÐPlasma¹× ÀÇ·á¿ëµî ´Ù¾çÇÑ Application¿¡ ±¹³»¿Ü ³³Ç°ÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
±×°£ÀÇ ±¹³» Á¦ÀÛ ¸ðµ¨°ú ´ëº°µÇ´Â Ư¡Àº °£·«ÇÏ°Ô ´ÙÀ½°ú °°½À´Ï´Ù.

1. Micro-Processor ä¿ë( LCD Display & RS-232 Digital Interface )
2. S.M.P.S ( Switching Module ä¿ëÀ¸·Î °æ·®È­)
3. ÁÖº¯ÀÇ Àü¾Ð ¹× Àü·ùº¯µ¿¿¡ ¿µÇâÀ» ÃÖ¼ÒÈ­ ÇÏ°í RF Noise ¿µÇâÀ» Àû°Ô ¹Þ´Â´Ù.
4. ÃֽŠNew Generation AMP¸ðµä°ú RF TR»ç¿ëÀ¸·Î ¾ÈÁ¤¼º°ú ¿­ÀûÀÎ ¾ÈÁ¤¼ºÀ» ÃÖ´ëÈ­ Çß½À´Ï´Ù.
5. Phase-Shifter(À§»ó ºÐ¹è±â)Á¦ÀÛ °ø±ÞÀÌ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
6. 1KW ±îÁö´Â °ø·©½ÄÀÔ´Ï´Ù.

±âÁ¸¿¡ ¾²½Ã°íÀÖ´Â RF GeneratorÀÇ °íÀåÀ̳ª Mis-matchµµ Á¶¾ðÀ» Çص帳´Ï´Ù.


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