학술행사안내

RF Generator 증상별 고장 분류

개요: 최근에 Display 및 산업현장의 복잡한 공정과 요구에 따라 Sputter나 RIE,CVD등의 일반적인 부하외에 ICP등의 high density plasma의 수요확대로 보다 구체적 체계적 고장예방이 필요하다고 생각함.

1. RF Power TR 파손
- 오래된 ENI( OEM 씨리즈등 )등의 Bi-Polar Type의 RF TR은 특별히 소자가 열에 약하고 여러원인으로 파손이 쉽다.
고장 초기 수리시에 비용을 대폭 절감할수있다.

2. 내부 결로 현상으로 인한 Power Board 손상
- 여름철 수냉식 RF Generator 의 전기종이 고장 대상이다.
특히 ENI, RF PP, Huettinger등의 Old기종에 많이 발생.
- 예방방법은 습도와 온도에 따른 적정 온도의 냉각수 사용이 필요함.
- 수돗물(City Water)의 경우 여름철 결로현상의 주 원인이된다.
- System Chamber와는 별도의 Chiller를 사용 20도 이상의 관리가 요함.

3. 내부 전원장치 모듈의 고장
- 전원 정유 모듈의 콘덴서 및 다이오드등이 고장.
- 원인은 역시 상기 두가지 고장으로 인한 TR파손이 주요인.

4. 기타 접촉불량 및 파손에 의한 고장

5. 예방법 및 조치

- RF Generator는 반사파(R.Power)를 0에 가깝게 관리하는것이 우선.
반사파는 열로 소비되며 RF기기를 고장내는 주범 !

- 가능하면 결로현상을 예방하고 사용장소의 실내 온습도를 관리.
별도로 온도관리가 필요함

- RF Noise에 대한 대책이 중요함.
전파의 특성은 눈에 보이지 않지만 인체와 기계 모두에게 치명적임.
대부분의 연구실의 접지는 불안정하다.

- 출력저하(Max Power),과열(Max temp ),Power shut-down등은 점검의
신호로 보면 된다.

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수입된 Refurbish RF generator의 경우에도 안내드리겠습니다.

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