표지 설명
표지 사진은 한국표준과학연구원 조용재 박사팀에 의해 개발된 최초의 실시간(멀티채널) 3-polarizer spectroscopic ellipsometer에 대한 계통도이다. 최신 상용장비와 성능 스펙을 비교하면 측정결과의반복성은 동일한 수준이지만 측정 속도는 보다 빠르고, 오차를 최소화 시켰으며, 시스템 매칭 면에서 도 우수한 장점을 갖고 있다. 특히, 무색수차 광학계들로만 구성되어 있기 때문에 측정영역을 진공 자 외선 파장인 140 nm 부터 근적외선 파장인 2500 nm의 광대역 파장영역으로 확대하는데 매우 유리한 장점이 있다.(특집 "첨단 나노소자 공정제어용 측정기술 연구"참고) [출처: 자체제작] [속 그림] 그림은 표준과학연구원 강상우 박사와 성균관대 김태성 교수팀에 의해 개발된 진공 내 나노 스케일 입자 복합특성 실시간 분석장치 (particle characteristics diagnosis system)이다. 기 개발된 입자 크기분포 측정모듈과 형상 분석모듈, 그리고 성분분석 모듈을 결합함과 함께 소형화 하여 협소한 반도 체 및 디스플레이 기판 생산공정 내 적용성을 높였다. 장치 내에서 입자는 빔 형태로 모여 전기적으로 분류 및 분석된다.(특집 "진공공간 내 나노급 오염입자의 실시간 진단시스템 개발"참고) [출처: (주) 코셈 개발 리포트]