ÇмúÇà»ç¾È³»

¾Ë¸²¸¶´ç ÇмúÇà»ç¾È³»
R&D Àü¿ë ALD Àåºñ ¼Ò°³
ÀÛ¼ºÀÚ
ÃÖ±ÔÁ¤
÷ºÎÆÄÀÏ
brochure.pdf (Down : 3678)
ÀÛ¼ºÀÏ
2009-07-22
Á¶È¸
1836
¾È³çÇϼ¼¿ä.
¿£¾¾µð Å×Å©³î·ÎÁö ±â¼ú°³¹ßÆÀÀÔ´Ï´Ù.
ÀúÈñ ȸ»ç´Â R&D ¹× ¾ç»ê¿ë ALD/CVDÀåºñ¸¦ °³¹ßÇÏ°í ÀÖ´Â º¥Ã³±â¾÷ÀÔ´Ï´Ù.
ÀúÈñ°¡ °ø±ÞÇÏ°í ÀÖ´Â R&D¿ë Àü¿ë ALD Àåºñ(Lucida series)´Â
ALD°øÁ¤ Àü¹®°¡¿¡ ÀÇÇÏ¿© °³¹ßµÇ¾î »ç¿ëÀÚÀÇ ÆíÀÇ°¡ ÃÖ´ëÇÑ ¹Ý¿µµÇ¾î ÀÖÀ¸¸ç
system size°¡ ¸Å¿ì compactÇÏ°í »ç¿ëÀÌ Æí¸®Çϸç
»ç¿ëÀÚ°¡ ¿øÇϽô ¹°ÁúÀÇ Ç¥ÁØ °øÁ¤ recipeÀ» ³³Ç°°ú ÇÔ²² Á¦°øÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
¶ÇÇÑ °¡°Ý Ãø¸é¿¡¼­ Ÿ»ç µ¿±Þ»ç¾ç ´ëºñ ¸Å¿ì Àú·ÅÇÏ°Ô °ø±ÞÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
ÀÚ¼¼ÇÑ ³»¿ëÀº ÷ºÎÇÏ´Â È«º¸ÀÚ·á¿Í ÀÚ»ç ȨÆäÀÌÁö(www.ncdtech.co.kr)¸¦ Âü°íÇÏ½Ã±æ ¹Ù¶ø´Ï´Ù.

ƯÈ÷ ÀúÈñ ȸ»ç´Â ÇöÀç ȸ»ç ³»¿¡ R&D¿ë ÀåºñÀÎ Lucida D200(8ÀÎÄ¡ wafer¿ë) ¸ðµ¨À»
set-upÇÏ¿© Çб³ ¹× ¿¬±¸¼ÒÀÇ ¿¬±¸Àڵ鲲 °¡´ÉÇÑ
¹«»óÀ¸·Î ¹Ú¸· °øÁ¤ ¼­ºñ½º¸¦ ÁøÇàÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç
¶ÇÇÑ ALD °øÁ¤¿¡ ÇÊ¿äÇÑ Ãʱâ precursor¼±Á¤¿¡¼­ºÎÅÍ
Ãʱ⠰øÁ¤ recipe¸¦ È®º¸Çϱâ±îÁö °øÁ¤ consulting¸¦ Çص帮°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
Ȥ½Ã ÇϽô ¿¬±¸¿¡ µµ¿òÀÌ µÉ ¼ö ÀÖ´Ù¸é ºÎÁ·Çϳª¸¶ °¡´ÉÇÑ ¼­ºñ½º¸¦ ¼öÇàÇØ µå¸®°íÀÚ ÇÕ´Ï´Ù.

ÇöÀç °øÁ¤ service°¡ °¡´ÉÇÑ ¹°ÁúÀº
Al2O3 (TMA+H2O)
ZrO2(TEMAZr+H2O)
HfO2 (TEMAHf+H2O)
ZnO (DEZ+H2O)
TiO2 (Ti(OiPr)4 or TDMATi+H2O)
Ru (RuDi + O2)
Al doped ZnO

ÀÔ´Ï´Ù.
ÇâÈÄ Ãß°¡ÀûÀ¸·Î °øÁ¤À» È®º¸ÇÏ¿© ¼­ºñ½º¸¦ ÁøÇà ÇÒ ¿¹Á¤ÀÔ´Ï´Ù.
ƯÈ÷ ÃÖ±Ù¿¡´Â »õ·Î¿î ¿¬±¸ Å׸¶·Î½á Organic/Inorganic Hybride monolayerÀ» ÀûÃþÇÏ´Â
°øÁ¤À» ÀÇ·Ú ¹Þ¾Æ °øÁ¤ °³¹ßÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç °øÁ¤ÀÌ °³¹ßµÇ´Â ´ë·Î Àåºñ¸¦ ³³Ç°ÇÏ°í
¼­ºñ½º¸¦ °³½ÃÇÒ ¿¹Á¤ÀÔ´Ï´Ù.
¶ÇÇÑ ¸ð ¿¬±¸±â°ü°ú ÇÔ²² GrapheneÀü¿ë ´ë¸éÀû CVD(ALD) Àåºñ¸¦ °³¹ßÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç
Á¶¸¸°£ ½ÃÁ¦Ç°À» µ¥¸ðÇÒ ¿¹Á¤ÀÔ´Ï´Ù.
ÀÚ¼¼ÇÑ »çÇ×Àº ¿¬¶ôÁֽøé ÀÚ¼¼È÷ ¼Ò°³ÇØ µå¸®µµ·Ï ÇÏ°Ú½À´Ï´Ù.

°¨»çÇÕ´Ï´Ù.

¿£¾¾µð Å×Å©³î·ÎÁö ±â¼ú°³¹ßÆÀ µå¸².
÷ºÎ : 1. ȸ»ç¼Ò°³ ÀÚ·á ¹× Àåºñ Ä«´Ù·Î±×

===========================================================
¿£¾¾µð Å×Å©³î·ÎÁö
´ëÀü½Ã À¯¼º±¸ ±Ãµ¿ Ãæ³²´ëÇб³ »êÇבּ³À°¿¬±¸°ü â¾÷º¸À°¼¾Å¸ 606È£
Tel : 042-821-8850~1
FAx : 042-821-8852
http://www.ncdech.co.kr
´ã´çÀÚ À̸ÞÀÏ : rulechoi@ncdtech.co.kr
============================================================